| 技术参数 | 1、手套箱尺寸：长度≥2.1米，1.5工位，3手套，宽度和高度配合制备系统配合设计，304不锈钢材质，厚度3mm，手套箱可以与制备系统配合使用，能实现密封性能兼容，箱体底部配有支架，旋转脚轮，可微调水平，配有用于压力调节的脚踏板。箱体配有大过渡舱和小过渡舱，大小过渡舱于箱体的连接方式均为可拆卸式法兰连接，不能焊接于箱体侧板。
★2、机身定制化设计：该设备需能够与ALD设备密封对接，联结后手套箱内水<0 .1ppm，氧<0.1ppm，且该定制化设计需满足部分气路与ald设备公用，同时不额外提升该设备的占地面积。 ★3、独立双气体净化系统：净化材料可再生，且再生过程通过plc自动控制，自动除水除氧功能，可得气体纯度：。 ★4、独立大剂量有机溶剂吸附系统：有超过10l的独立有机溶剂吸附系统。 ★5、水分析仪：进口品牌，测量范围是0～500ppm，mk-xtr-100水探头，不得采用ge探头，水探头采用p2o5传感器，可以通过清洗再生程序恢复初始状态，可重复使用，避免了一次污染即报废的问题,要求水分析仪生产厂家必须提供该功能证明文件。提供可反应评审内容的产品官方发布的样册。 ★6、氧分析仪：进口品牌，测量范围：0～1000ppm，mk-ox-sen1氧探头，采用zro2传感器，不得采用燃料电池，zro2传感器避免了燃料电池（电化学电池）寿命短，不能暴露在高氧中的问题,要求氧分析仪生产厂家必须提供该功能证明文件。提供可反应评审内容的产品官方发布的样册。 7、风机循环能力：流量≥90m3/h，加装变频控制。 ★8、真空泵：抽速≥12m3/h，真空度可达2×10-3mbar，国际知名品牌（爱德华），配装油雾过滤器。 ★9、玻璃视窗采用实芯o型密封圈（真空密封方式）法兰视窗结构，达到无泄漏。实芯o型圈直径不超过8mm，密封槽为方形凹槽，实芯密封圈安装方式为嵌入密封槽安装，密封支撑面及密封槽底平面度＜0.1mm/m。不接受单层或双层空芯密封圈粘贴在箱体折弯支撑面表面的密封方式，提供的产品彩页须有玻璃视窗密封结构示意图和实物图。 10★、有机溶剂吸附器：放置在箱体内部，填充高效活性吸附材料，与主循环管道相联，循环气体可首先通过吸附器，吸附箱体的有机气体，可快速方便更换吸附材料，并且不破坏箱内高纯气氛。 ★11、气体控制阀：不锈钢电磁集成阀座，提供不锈钢集成阀座图片，产品彩页需有相关证明文件。 12、配备工业空调集成超净过滤系统。 ★13、物联网智能功能，解析多种数据协议，采集多种类型的传感器数据，比如：水值、氧值、压力、抽气/补气次数等，根据阈值及状态参数的实时变化进行智能分析和预警，需提供产品宣传册有相关证明文件。 14、手套箱通过ul认证 质保期3年，包含真空泵、水分析仪、氧分析仪、循环风机等关键零部件。 ★15、交货周期15天内。 注：该套仪器为精密设备，主要用于科研，带“★”的参数必须满足,并提供原厂盖章授权书。 |
