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1. 供气设备-H2/N2混合气手动气瓶架
1.1 操作方式：手动操作。
1.2 配置：单工艺钢瓶（含自吹扫等功能），单工艺出口。
1.3 过滤：垫片式过滤器。
*1.4 气瓶架设计：需根据实验室原有特气系统布局，提供气瓶架设计图纸。
*1.5 关键部件品牌：
调压阀：国际一线品牌。
隔膜阀：国际一线品牌。
*1.6 气瓶兼容性：气瓶架需兼容 8L 与 42L 气瓶的使用。
2. 分流设备-H2/N2混合气 VMB(阀门分配箱)
2.1 操作方式与接口：手动操作。1/4' 入口,1/4'出口。
功能：各支路具备压力调节、压力显示、支路隔离功能。
*2.2 排风： VMB带壳体排风口。
*2.3 VMB 设计：需根据实验室原有特气系统布局，提供 VMB 设计图纸。
*2.4 关键部件品牌：
调压阀：国际一线品牌。
隔膜阀：国际一线品牌。
3. 管道及阀门系统
*3.1 系统对接与测试：H2/N2 系统需与工艺设备进行对接，并完成5项测试。
3.2工艺气体管道：管径1/4”，材质：SS316LEP。
3.3 尾气管道：管径1/4” ，材质：SS316LBA。
3.4 管路走向：气瓶架 → VMB → 工艺设备端。
3.5 VMB 排风连接：VMB 排风系统需接入实验室原有排风系统。
3.6 可燃气体侦测：VMB排风系统需进行可燃气体侦测，环境侦测器使用原系统侦测器。
*3.7 系统设计：需根据实验室原有特气系统，提供完整的管道系统设计及布局图纸。
（备注：*为必须满足的关键技术指标）
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