备案竞价公告

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【分散采购备案单】强制水冷150mm射频磁控靶阴极加工

发布日期：2024-06-18 浏览次数：

项目概况

项目名称	强制水冷150mm射频磁控靶阴极加工	项目编号	BF202406180371
开始时间	2024-06-18 14:55	结束时间	2024-06-23 14:55
供应商资格要求	参照《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定的资格条件。	预算金额（元）	432000.00
采购方式	竞价

采购货物信息列表

序号	货物（服务）名称	数量	计量单位	预算单价
1	强制水冷150mm射频磁控靶阴极加工	9	套	48000
	技术参数	1.靶耐受功率在300-1000W连续可调，800W可长期工作100小时； 2.靶绝缘电阻大于50MΩ； 3.靶冷却背板为高纯铜材料； 4.带屏蔽射频电缆，长度为1米； 5.带强制水冷结构，能承受5公斤的冷却水压力； 6.靶座结构件:304奥氏体不锈钢；靶材：可安装各类金属靶、陶瓷靶；磁铁：钕铁硼强磁磁铁；密封、转动件：NSK、UKS等。
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