技术参数 | (1) 箱体:①一个不锈钢箱体,尺寸为1200mm(长)X750mm(宽)X900mm(高), 材质为 SUS304 不锈钢,厚度 3mm。②可拆卸的安全玻璃视窗,倾斜设计的操作面,钢化玻璃厚度8mm。③两个铝合金手套口,由实心棒材加工而成。④一副丁基橡胶手套。⑤预留有四个KF40标准接口。⑥配置有2x二层活动的置物架。⑦安全阀,保护设备和手套箱内材料。⑧钢结构支架,高900mm,安装有万向脚轮。
(2) 过渡舱:①1个大过渡仓:尺寸为Φ370X600mm。②1个小过渡仓:材质为SUS304不锈钢,厚度3mm;尺寸为Φ150X300mm。
(3) 气体纯化化系统:①一个气体纯化柱:氧气和水的吸附量分别为60升和2公斤。②气体纯化柱吸附饱和后,用含氢的氮气或氩气再生。H2:5%; N2: 95%。③一个循环风机:流量60m3/h。④有机溶剂吸附柱:含活性炭颗粒吸附材料,添加有专门吸附氟化氢的吸附剂;吸附饱和后更换新材料。⑤所有气路都由电磁阀控制,净化柱再生完全实现自动控制。⑥循环系统的进出口装有气体过滤器。
(4) 控制系统:①自动控制箱体压力。②手动监测泄漏率。③系统历史数据自动记录和显示,如箱压、水含量和氧含量。④箱体气氛自动报警。⑤所有操作均有预设条件,动作互锁,避免不安全操作损坏设备或破坏箱体内的气氛。
(5) 技术指标:①泄露率﹤0.0005vol%/h。测试参考ISO10648-2国标标准及EJT1096-1999密封箱室密封性分级及其检验方法,必须提供技术证明文件及相关国家级权威部门出具的检测报告。视窗与箱体之间的密封使用双层密封圈抽真空密封技术,达到无泄漏,泄露率检测结果同时适用于正压和负压状态下。②H2O﹤1ppm ,O2﹤1ppm。 在关掉循环风机或断电情况下,手套箱内水、氧含量上升速度不超过2ppm/h。
(6) 其它附件:①真空泵1台。②氧分析仪1套:测量范围为0-1000 ppm; 精度为量程的1% 或0.2ppm。③水分析仪1套:测量范围为20℃到-100℃;精度为2℃。④箱内电源接口,配有多孔插座。⑤减压阀2个 6. 耗材一批供两年内使用。 |