| 技术参数 | 水平运动台：台面尺寸 200mm×218mm;
导轨方式：精密直线导轨; 移动范围±250mm;
传动方式：滚珠丝杠；螺距 5.0mm；分辨率 整步/半步 10μm/5μm; 分辨率 微步（1/20分割）0.5μm; 最高速度50mm/sec; 累积误差≦40μm/500mm；重复定位精度≦±0.5μm; 空程 ≦10μm; 水平直线度 ≦ 8μm/500mm; 垂直直线度 ≦8μm/500mm; 背隙 ≦2μm；刚度 0.003 arcsec/N･cm; 水平承载能力 980N (100kgf) |
