| 技术参数 | 1、射频电源
输出频率：13.56MHz±50ppm
最小功率：15W
最大功率：1500W
最大反射功率：150W，如果反射功率大于150W，射频电源会降低输出，保持
反射不大于150W。
输出阻抗：50Ω
谐波：≤-45dBc
功率误差：1%设置功率，或者0.1%最大功率。（取最大值）
功率稳定度：1%设置功率，或者0.2%最大功率。（取最大值）
CEX 输入信号：标准正弦波射频信号。（输入信号功率：7dBm±0.5dBm）
CEX 输出信号：标准正弦波射频信号。（输出信号功率：6.5dBm±0.5dBm）
冷却类型：风冷
1.1 输入电源特性：
电压范围：220VAC±20%（176VAC～264VAC）,3线，带地线（PE）。
频率范围：47Hz～63Hz
输入电流：16A@230VAC
浪涌电流：冷启动：50A@230VAC
功率因数：PF≥0.97@230VAC（最大功率输出时）
效率：≥70%（输出功率大于200W，并且负载为标准50Ω时）
过流保护：用户必须安装 20A 慢断型的保险丝。
1.2 结构及接口
大小：标准19吋机箱外壳,不包含接口：19吋2U*W430mm*D485mm
重量：净重17.0Kg
AC输入：IEC320 C20连接器，标准3P接口。
RF输出：标准N型连接器，母头(Female)。
用户端口：用户端口(User Port)使用标准 DB25母头(Female)
通信接口：标准DB9母头(Female)，包含RS232以及RS485 通信信号
匹配器接口：标准DB15母头(Female)
CEXIn：标准BNC母头(Female)
CEXOut：标准BNC母头(Female)
前面板开关：船型开关，带电源指示灯。
前面板显示：128*256 LCD图形显示器。
2、匹配器
匹配器类型：单频
负载属性：CCP
射频输入频率：13.56MHz
功率范围：50-1500W
最大传输功率：1500W
最大反射功率：<3W 或1%输入功率 最大输出电流：60a 最大输出电压：8kvpk 驻波比 <1.2 匹配方式：自动/手动 匹配范围：(1)r(0.5～35)ω+jx(-112～32)ω； (2)r(0.6～34)ω+jx(-112～31)ω 匹配时间：<3s(预设点小于1s) 冷却方式：风冷 高频可调电容器：真空可调电容 工作环境：0~50℃,湿度<85%（不结露） 工作电流：0.5a 工作电压：220vac±10% 目标阻抗：50ω rf输入接口：n母接头 rf输出接口：底部铜片、侧面削边铜柱或定制 尺寸（宽*深*高）：370*264*130mm 重量：<9千克 应用行业：磁控溅射/半导体 |
