| 技术参数 | 1. 真空泵组：真空旋片泵；
2. 泵组抽速：>4m3/h；
3. 极限真空：<1 pa； 4. *工作气压：3-10pa； 5. 抽真空时间：<3min； 6. 真空规：皮拉尼真空计； 7. 样品腔室尺寸：ф 120 ×120 mm 石英玻璃腔体； 8. *磁控溅射源：靶材尺寸 ф 50 ×0.1～1 mm （标配0.2mm） 9. *溅射电源：恒功率磁控 dc 溅射电源 max. 20w ，max. 100 ma，0-800v; 10. *操作方式：触摸屏控制； 11. 功耗：<500 w； 12. *附件：旋转偏转样品台： 1）主要功能：公自转 旋转-偏转可调旋转样品台 2）转台直径:～50mm 3) 公转速度:10-60rpm 4) 偏转角度:-30°～+30° 5）供电接口：type-c |
