武汉大学 射频等离子体源系统项目

单一来源方式采购征求意见公示

武汉大学物理科学与技术学院拟采购 射频等离子体源系统项目 ，用户单位申请单一来源方式采购，现予以公示。

一、采购内容：

武汉大学物理科学与技术学院拟购买一套射频等离子体源系统，用于产生气体等离子体生长超宽禁带半导体氧化物，为超宽禁带半导体器件项目的完成提供重要支撑。

二、采购要求

1、主要用途：

超高真空系统中采用分子束外延法制备半导体氧化物。

2、主要技术参数（服务内容及要求）

2.1 等离子体源

2.1.1 等离子体产生方式为射频电磁波；

2.1.2 工作模式：原子模式

2.1.3 适合气体模式：氧气等氧化性气体

2.1.4 电子束最大功率：≥500 W@13.56 MHz；≥400 W（氧气）；

2.1.5 束斑尺寸（源位置）：≥20 mm

2.1.6 工作距离：不小于50- 300 mm；

2.1.7 真空内长度：≥ 240 mm

2.1.8 可烘烤至200℃，集成水冷设计；

2.2 电源控制单元

2.2.1 功率控制范围：≥ 500 W；

2.2.2 配置阻抗匹配调控；

2.3 自动调节单元

2.3.1 可自动稳定射频功率；

2.3.2 可自动匹配源的阻抗输出至50 Ohm；

2.4 气路进气系统

2.4.1 配置高精度进气阀以及气路管线连接法兰；

2.5 手动挡板1个

3、商务要求

质保期： 一年

交货期： 6个月

其它要求： 无

三、采用单一来源采购方式的原因及相关说明

(填写具体原因，必须从客观因素上体现唯一性)

该款产品是一种UHV完全兼容的组件，适用于最苛刻的MBE应用和表面改性，适用于广泛的真空范围，从UHV到HV适用。最大功率500W产生频率为13.56 MHz的微波，产生的氧原子束流大，可达到10¹⁵ atoms/cm²/second。该款产品是无灯丝设计，可以适合反应性气体的操作，譬如AO模式，除了可以通入氧气，也可以通入其他氧化性气体；操作压力低，工作压力在< 10^-7 - 10^-5 mbar；另外，可以配置Auto tuning功能，实现射频功率的自动稳定，从而原子束流的稳定。专门设计的孔径可抑制离子从等离子体中释放出来，同时允许中性氧原子流出，从源发出的粒子已被大大地热化，低动能（<1 ev），因此，该等离子体源对样品表面的损伤小，适用于敏感表面处理。市场上其他厂家的射频等离子体源系统与本次拟购置的技术指标有较大差距，尤其在工作压力和原子束流上。

贝克斯帝尔科技（北京）有限公司是德国SPECS Surface Nano Analysis GmbH公司在中国的分公司。

因此，拟以单一来源方式从Specs公司采购射频等离子体源系统项目。

四、拟定的唯一供应商名称、地址

供 应 商： Specs-TII Beijing Co. Ltd.

地 址： 北京市朝阳区工人体育场北路4号39号楼4层418A室

联 系 人：Zhen Wang

联系电话：86-18588654500

电子邮件： wang.zhen@specs.com

五、公示期：从 2024 年 1 月 10 日至 2024 年1 月16 日止

如有其它潜在供应商对本项目采用单一来源方式采购有异议，应在公示期内以书面形式以实名（盖单位公章、包括联系人、地址、联系电话）将意见反馈至武汉大学采购与招投标管理中心。

项目经办人：赵老师 电话：68754507

技术负责人： 刘老师 电话： 18971512093

地址：湖北省武汉市武昌区八一路299号邮编：430072

武汉大学采购与招投标管理中心

2024年 1 月 10 日