| 技术参数 | 1、样品台直径：140mm（手动）
2、样品台转动角度和倾斜角度：360°, ±2°
3、最大扫描长度：30 mm,双向扫描
4、扫描速度：10–400 μm/sec
5、允许最大样品厚度：20 mm
6、X,Y移动范围：80mm和20mm
7、台阶高度测量精度/重复性:5.0 ? 或 0.1%
8、Z向垂直扫描范围：0-1200 μm
9、Z向垂直分辨率：0.38 ?
10、探针作用力范围：0.03–15 mg
11、单次扫描采样频率：60 to 2000Hz
12、单次扫描最大采样点数：400,000个
13、横向分辨率：100 nm
14、Z向位移测量传感器：光杠杆式
15、侧视光学照亮系统FOV：3760 x 3120 μm
16、内置彩色数码摄像机：5MP高分辨率彩色数码摄像机
17、变焦：1X，2X，4X
18、自重：14.0 kg
19、运输重量：41.0 kg
20、外观尺寸：24*25*39cm
21、安装条件：90–260 V，50–60 Hz，150 mA
22、温度：16 – 25°C，变化率 2°C/hr
23、地板振动：250-inch/sec，1至100 Hz
24、环境噪声：80 dB C-weighting scale
配件：1um和50um标准台阶高度校准片各一个，5um，60°金刚石探
针，1个，电脑控制器一台，19 inch LCD显示器一台 |
