| 技术参数 | 1. 供气设备-Ar手动气瓶架
1.1 手动操作，双工艺钢瓶(自吹扫等)，单工艺出口
1.2 终端过滤
*1.3 根据实验室原有特气系统，提供设计及布局图纸
2. 纯化设备-POU纯化箱-CH4
*2.1 1用1备POU 纯化器1/4”，带PN2吹扫和VENT
*2.2 纯度：9N；流量：30L/Min
2.3 气体种类：CH4
2.4 带壳体抽风
*2.5 根据实验室原有特气系统，提供设计及布局图纸
3. 管道及阀门系统
3.1 Ar系统
3.1.1 主管管径3/8”，支路管径1/4”，材质：SS316LEP
3.1.2 主管2个预留隔膜阀扩展口
3.1.3 支路配置VS面板（隔膜阀+减压阀+压力表）
3.2 PN2系统
3.2.1 主管管径3/8”，支路管径1/4”，材质：SS316LEP
3.2.2 主管2个预留隔膜阀扩展口
3.2.3 支路配置VS面板（隔膜阀+减压阀+压力表）
3.3 O2系统
3.3.1 主管管径1/4”，支路管径1/4”，材质：SS316LEP
3.3.2 主管2个预留隔膜阀扩展口
3.3.3 支路配置VS面板（隔膜阀+减压阀+压力表）
3.4 CH4系统
3.4.1 主管管径1/4”，配置CH4纯化箱，材质：SS316LEP
3.4.2 VENT管管径1/4”，配置LPN2吹扫纯化箱
3.4.3 纯化箱排风口径：φ100，材质：SS，排风出口配置LEL气体侦测器
3.5 GN2系统
3.5.1 主管管径3/8”，支路管径1/4”，材质：SS316LEP
3.5.2 主管2个预留球阀扩展口
3.5.3支路配置VS面板（球阀+减压阀+压力表）
3.6 Pipingline系统
3.6.1 管径DN25，材质：SS304BA
3.6.2 干泵接口法兰连接，配置波纹管减少震动
3.6.3 尾端接至室外或厂务一般排风
*3.7 根据实验室原有特气系统，提供设计及布局图纸
4. CH4气体侦测系统
*4.1 升级改造的CH4气体侦测系统需接入原有GMS系统，并对系统画面进行相应改造
（备注：*为必须满足的关键技术指标） |
